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手持式四探针测试仪

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产品名称: 手持式四探针测试仪
产品型号: JZ-RTS3型
产品展商: 九州牌
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简单介绍

手持式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准而设计的,专用于测量硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻的小型仪器。 手持式四探针测试仪采用了*新电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。如有需要可加配测试台使


手持式四探针测试仪  的详细介绍
手持式四探针测试仪
是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准而设计的,专用于测量硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻的小型仪器。
    手持式四探针测试仪仪器采用了*新电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。如有需要可加配测试台使用。

   手持式四探针测试仪仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试。


 
手持式四探针测试仪技 术 指 标 :
 
 测量范围
 电阻率:0.01~1999.9Ω.cm;  
 方块电阻:0.1~19999Ω/□; 
恒流源
 手持式四探针测试仪电流量程分为100μA、1mA两档,两档电流连续可调
数字电压表
 量程及表示形式:000.00~199.99mV; 分辨力:10μV;  
 输入阻抗:>1000MΩ; 精度:±0.1%;  
 显示:以大屏幕LCD显示读数,直观清晰;极性、超量程自动显示;
四探针探头基本指标
 间距:1±0.01mm;  针间绝缘电阻:≥1000MΩ; 机械游移率:≤0.3%;
 探针:碳化钨或高速钢Ф0.5mm; 探针压力:5~16 牛顿(总力);
四探针探头应用参数
 (见探头附带的合格证)
模拟电阻测量相对误差
( 按JJG508-87进行)
 1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
整机测量*大相对误差
(用硅标样片:0.01-180Ω.cm测试)≤±5%
整机测量标准不确定度
 ≤5%
外型尺寸
 185mm(长)*90mm(宽)*30mm(高)
重量
 350g
电源
 锂电池,一次充电可连续使用100小时;
标准使用环境
 温度:23±2℃; 相对湿度:≤65%; 无高频干扰; 无强光直射;
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